净化工程是指在一定空间范围内去除空气中的微粒和有害空气。去除细菌等污染物,去除室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和t流分布、噪音振动和照明、安静。
电气控制在一定的-需求范围内,是净化工程给予特殊设计的房间。也就是说,无论外部空气条件如何变化,其室内都具有保持原设定要求的洁净度、温湿度、压力等性能。
其特性。净化工程的主要作用是控制产品接触的大气的清洁度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产、制造,该空间的设计I过程称为净化。
项目。它们分为:
乱流式,空气通过空调箱通过管道和洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室,通过洁净室两侧的隔板和高架地板进行回风。气流非直线型运动,呈不规则的乱流和涡流状态。
这种类型适用于洁净室等级1000-10000级。优点:结构简单,系统建设成本低,洁净室扩建容易。在一些特殊用途的地方,可以使用无尘工作台来提高洁净室的等级。
优点:乱流引起的灰尘颗粒在室内空间漂浮,不易排出,容易污染工艺产品。此外,如果系统停止运行,需要很长时间才能达到所需的清洁度。
层流式空气流动成均匀的直线型,空气通过复盖率100的过滤器进入室内,通过高架地板和两侧的隔板回风。这种类型适用于洁净室等级高的环境。
净化室等级为Class1~100。它的类型可以分为I类:(1)水平层流式:水平空气从过滤器向吹出,由对面墙的回风系统回风,灰尘随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:结构简单,运行后短时间内稳定。缺点:施工成本高于乱流式,室内空间不易扩大(2)垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空抽上下。
吹风可以获得较高的洁净度,工艺或工作人员产生的灰尘可以快速排出室外,不影响其他工作区域。
(2)垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器复盖,空气从上到下吹,洁净度高,工艺中或工作人员产生的灰尘可以迅速排出室外,不影响其他工作区域。
乱流。
优点:管理简单,运行开始后短时间内可以达到稳定状态,不易受到运行状态或运行人员的影响。缺点:结构成本高,弹性使用空间难,天花板吊架占用空间大,维护更换。
复合(MixedType)
复合是将乱流和层流复合或并用,可以提供局部超清洁的空气。
(1)清洁隧道(CleanTunnel):用HEPA或ULPA过滤器复盖工艺区域和工作区域100,将清洁度等级提高到10级以上,可以节约设置运行费用。这种类型需要与作业人员的工作区域和。
产品和机器的维护被隔离,以避免机器在维护过程中影响工作和质量。大多数ULSI工艺都采用这种类型。
清洁隧道还有两个优点:A.弹性扩展容易:B.维修设备时可以在维修区域轻松进行。
(2)清洁管道(CleanTube):包围和净化产品流程的自动生产线,将清洁度等级提高到100级以上。由于产品、操作人员和粉尘环境相互隔离,少量送风可以获得良好的效果。
清洁,节能,无需人工自动化生产线,适合使用。食品业和半导体业都适用。
(3)并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内产品工艺区的洁净度等级提高到10~1000之间,认为生产用途:洁净工作台.洁净工作台。
棚子,洁净风柜就是这样。
净化工程工作室:为了在乱流式洁净室空间内用防静电透明塑料布包围小空间,采用独立的HEPA或ULPA和空调送风机组,成为-高洁净空间,等级为10~1000级
高约2.5米,要盖面积约10m2,四个支柱并加活动轮,可弹性使用。
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