无尘室的温湿度控制的具体措施有哪些？

2021.05.19 707

       无尘室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求而定，在满足加工工艺要求的情况下，更要考虑到人的舒服。由于对空气清洁度的要求越来越高，工艺要求温度和湿度越来越高。

       无尘室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求而定，在满足加工工艺要求的情况下，更要考虑到人的舒服。由于空气清洁度要求的提高，工艺过程对温度和湿度的要求越来越高，需要达到一定的温度和湿度等级。比如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，对作为掩膜材料的硅片和玻璃的热膨胀系数的要求差别越来越小。硅片直径100um，温度升高1度，造成0.24um线性膨胀，因此一定要有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般要低，因为人出汗后，产品会受到污染，尤其是半导体车间怕钠，这车间温度不宜超过25度。

       潮湿会引起更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却管壁会结露，如果准确设备或线路发生故障，会引起各种事故。相对湿度50%时容易发生锈蚀。无尘室的温湿度控制具体有哪些措施？

       但是，对大多数清洁空间来说，为了防止外界污染的侵入，必使内部压力(静压力)高于外部压力。维持压差应一般符合下列原则：

1、在洁净度等级高的场所，压力比在邻近的洁净度等级低的场所高。

2、两间相通的洁净室之间的门应向高洁净度房间敞开。

3、洁净室的压力比非洁净室高。

       压差的维持依赖于新风量，新风量可以补偿在此压差下从空隙中漏出的风量。因此，压差的物理含义是阻力，即通过无尘室各种缝隙的漏风(或渗漏)。

       对乱流洁净室由于主要依靠空气的稀释作用减轻室内污染程度，因此主要采用换气次数概念，而不是直接采用流速概念，但对室内气流流速也有以下要求：

1、送风口出口气流速度不能太大，与单纯的空调房相比，需要较快的速度衰减和较大的扩散角度。

2、吹过水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不应过大，以免使表面颗粒重新进入到气流中，造成再污染，这种速度一般不应过大，0.2m/s。